연구 영역
기본 정보
논문·특허
과제
구성원
제 35회 한국진공학회
CAT-CVD를 이용한 실리콘 기반의 나노 결정박막 형성 및 특성연구
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
제 35회 한국진공학회
발표 제목
CAT-CVD를 이용한 실리콘 기반의 나노 결정박막 형성 및 특성연구
기관명
(사)한국진공학회
참여 연도
-
상세 설명
(사)한국진공학회