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구성원
제35회 한국진공학회 하게 정기학술대회
나노급 N-type 폴리실리콘게이트의 니켈실리사이드 공정에 따른 안정화 효과
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
제35회 한국진공학회 하게 정기학술대회
발표 제목
나노급 N-type 폴리실리콘게이트의 니켈실리사이드 공정에 따른 안정화 효과
기관명
한국진공학회
참여 연도
2008
상세 설명
한국진공학회