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구성원
제35회 한국진공학회 하게 정기학술대회
나노급 수소화된 비정질 실리콘 두께에 따른 저온 니켈실리사이드 물성 변화
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
제35회 한국진공학회 하게 정기학술대회
발표 제목
나노급 수소화된 비정질 실리콘 두께에 따른 저온 니켈실리사이드 물성 변화
기관명
한국진공학회
참여 연도
2008
상세 설명
한국진공학회