고순도 H2 정제용 ZrVFe 합금을 대기 중에 상온으로 보관시 발생하는 표면부의 오염을 제거하기 위한 전처리 공정으로, UVO3 크리닝 공정을 제안하였다. 보관 60일까지 시간에 따른 표면부 오염에 의한 물성 변화를 optical microscopy, micro-Raman, XRD 방법으로 확인하고, UVO3 크리닝 공정 전후 물성을 비교하였다. 상온 보관 시간에 따라 준비된 시료와 이들을 UVO3 공정으로 처리한 뒤 표면부에 VOx, FeVOx와 같은 Oxide계 오염물의 형성과 카본계 물질의 흡착 오염 정도에 따른 물성 변화는 광학현미경 이미지와 XRD로 확인할 수는 없었지만, micro-Raman 분석으로 오염물의 존재와 제거 여부에 대해 명확히 확인할 수 있었다. 이는 ZrVFe 합금 게터가 상온 대기 중에서 보관시간에 따라 나노급 두께의 VOx, FeVOx와 같은 금속 산화물을 형성하며, 이렇게 생성된 Oxide계 오염물은 UVO3를 통해 비교적 간단히 제거할 수 있음을 의미하였다. 따라서 UVO3 크리닝 공정으로 ZrVFe 합금의 표면부 오염층을 효과적으로 제거할 수 있으며, 오염물이 제거된 ZrVFe 합금은 향상된 고순도 H2 가스 정제 기능을 가질 수 있었다.