입사광의 증가와 전하 수송층의 표면 개질은 각각 단락 전류 밀도( J SC )와 전하 수송 특성을 향상시켜 고성능 페로브스카이트 태양전지(PSC)를 달성하기 위한 강력한 경로이다. 그러나 반사 손실을 줄이면서 동시에 전자 수송층(ETL)의 전기적 성능을 개선하기 위한 기법은 거의 연구되지 않았다. 본 연구에서는 고성능 PSC를 제작하기 위한 경사 불소(F) 스퍼터링 공정을 제안한다. 제안된 공정은 F 코팅의 반사방지막 효과와 TiO 2 ETL에 대한 F 도핑 효과를 동시에 구현하며, 굉장히 낮은 굴절률(≈1.39)로 인해 PSC로 전달되는 빛의 양을 증가시키고 TiO 2 의 전기적 특성을 현저히 향상시킨다. 그 결과, F 코팅 및 도핑 페로브스카이트 태양전지(F‐PSC)의 J SC 는 25.05에서 26.01 mA cm −2 로 증가하였고, 동력변환효율은 24.17%에서 25.30%로 향상되었다. 캡슐화하지 않은 F‐PSC는 대기 환경 조건(상대습도 30%, 암조건에서 25 °C)에서 900 h 동안 노출 후 공기 안정성이 향상되었다. 본 연구에서의 경사 F 스퍼터링 공정은 향후 PSC의 개발 단계에서 상용화 단계까지 적용 가능한 보편적 방법이 될 수 있다.

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