반도체 공정 복합가스 및 촉매·플라즈마 방전 모듈 모니터링을 위한 고속·고정밀 레이저 검출모듈 개발
o 복합가스 레이저센서 개발 -수소산소를 포함한 복합한 조성의 배출가스의 조성 모니터링을 위한 레이저센서 개발 - 복합가스 분석용 광공동 라만 분광기를 이용한 레이저 센서 교정용 분광 DB 구축 -복합가스 레이저센서 성능 고도화 및 실증o 플라즈마 온도 레이저 간섭센서 개발 -방전 플라즈마 모니터링을 위한 레이저-간섭 플라즈마 온도 센서 개...
온실가스 배출 모니터링
수소/산소 모니터링
레이저 센서 모듈
광공동 라만 증강 분광계
레이저 간섭 복사계
2
2024년 3월-2028년 12월
|1,920,100,000원
Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축
EUV 산업의 국내 기술경쟁력 성장 및 첨단 반도체 핵심기술 초격차 확보를 위한 EUV 소재부품장비 기초성능평가 기반 구축
극자외선
포토레지스트
펠리클
미러
검사기
3
주관|
2023년 6월-2028년 12월
|1,189,500,000원
식각·증착·세정활용 공정가스 사용 최적화를 위한 배출가스 모니터링 및 온실가스 배출량 모의분석 기술 개발
본 과제는 반도체 공정에서 나오는 공정가스 및 부생가스의 GWP를 반영해 온실가스 배출을 정량으로 모니터링하는 시스템을 구축해 탄소중립을 지원하는 연구임.
연구 목표는 공정별 배출량 산정을 위한 센서 선정과 GWP 측정 기반 및 통합 모니터링 확립임. 연구 내용은 식각·증착·세정 모사 챔버에서 FTIR, OH라디칼 상수 측정 및 실공정 신뢰성 평가를 수행하고, 복사강제력·유효복사강제력(ERF)·GWP 고도화로 기존 및 신규 대체가스 적용 배출량을 산정함. 기대 효과는 UNFCCC 내 IPCC EFDB 제안, 국가 투명성보고서 반영을 통한 신뢰성 확보와 저감기술 상용화, 배출권 거래제 활용 및 2050 탄소중립 실현 기여임.
식각·증착·세정활용 공정가스 사용 최적화를 위한 배출가스 모니터링 및 온실가스 배출량 모의분석 기술 개발
[최종목표]ㅇ 반도체 공정가스 및 부생가스의 GWP를 반영한 온실가스 배출 정량 최적 모니터링 시스템 구축을 통한 탄소중립 지원[1차년도 목표]ㅇ 공정별 및 배출제어시스템 구축 배출량 산정을 위한 센서 선정ㅇ GWP 측정을 위한 기반 시스템 구축ㅇ 반도체 업계 국제 네트워크 구축[2차년도 목표]ㅇ 공정별 모니터링 시스템을 통한 배출량 산정 ㅇ 기존 공정가스...
온실가스
지구온난화지수
대기수명
유효복사강제력
배출량 정량 모니터링
5
2023년 3월-2027년 12월
|337,792,000원
100Å급 이하 차세대 반도체 소자를 위한 극저온 원자층 식각 공정 및 장치 기술 개발
[최종목표] ㅇ이방성/등방성 극저온 원자층 식각 공정 및 장치 기술 개발 [1차년도 목표]ㅇ극저온 원자층 식각 공정용 테스트 챔버 구축 및 공정 선행 연구ㅇ극저온 원자층 식각 공정용 ESC 설계[2차년도 목표]ㅇ이방성/등방성 극저온 식각 기술 연구 ㅇ극저온 원자층 식각 공정용 ESC 제작[3차년도 목표]ㅇ이방성/등방성 극저온 원자층 식각 300 mm 공정 ...
