또한 40 kHz의 반복률과, HF와 HCl의 몰비가 1:5인 화학 조성의 조합으로 이루어졌다. 그 결과 약 23:1의 높은 종횡비와 인상적인 식각 속도 1200 µm/h를 얻었다.

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