|이광걸 교수 연구실
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·2026
Ultra-high-precision fused silica micro-hole machining via spherical aberration-assisted filamentation and laser-induced deep etching
Seunghyun Bang, Seonghyeon Kang, Hyunjong Lee, H. S. Kim, Seok Ho Song, Kwang-Geol Lee
IF 6 (2026) Advanced Photonics Nexus
키워드
MachiningFilamentationEtching (microfabrication)LaserWindow (computing)Laser beam machining
타입
Article
IF / 인용수
6 / 0
원문
https://doi.org/10.1117/1.apn.5.2.026003
게재 연도
2026