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Article
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인용수 0
·
2026
Ultra-high-precision fused silica micro-hole machining via spherical aberration-assisted filamentation and laser-induced deep etching
Seunghyun Bang
,
Seonghyeon Kang
,
Hyunjong Lee
,
H. S. Kim
,
Seok Ho Song
,
Kwang-Geol Lee
IF 6 (2026)
Advanced Photonics Nexus
키워드
Machining
Filamentation
Etching (microfabrication)
Laser
Window (computing)
Laser beam machining
타입
Article
IF / 인용수
6 / 0
원문
https://doi.org/10.1117/1.apn.5.2.026003
게재 연도
2026