|조병진 교수 연구실
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인용수 1
·2025
Enhancing device reliability in Pt/Ti/Al2O3/p-Ge metal-oxide-semiconductor memcapacitor via CF4 plasma treatment of Ge
Eunjeong Cho, Min Jeong Kim, Se‐Young Oh, Woojin Park, Jongwon Yoon, Byungjin Cho
IF 4.6 (2025) Materials Science in Semiconductor Processing
키워드
Materials scienceReliability (semiconductor)PlasmaOxideMetalSemiconductorOptoelectronicsMetallurgy
타입
Article
IF / 인용수
4.6 / 1
원문
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109576
게재 연도
2025