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조병진 연구실
충북대학교 신소재공학과 조병진 교수
IGZO 트랜지스터
멤트랜지스터
2차원 반도체
연구 영역
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논문·특허
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조병진 연구실

충북대학교 신소재공학과 조병진 교수

조병진 연구실은 신소재공학 기반에서 전자세라믹스 및 2차원 소재의 물성 제어를 중심으로 연구를 수행합니다. 특히 IGZO 계열 산화물 트랜지스터에서 유전층·계면 구조를 설계하여 멤트랜지스터 및 시냅스 동작의 안정성과 전도도 갱신 특성을 확보합니다. 또한 MoS2와 그래핀 이종접합, 2차원 접촉 기반 포토다이오드의 광응답을 향상하는 방향으로 공정-구조 연계를 다룹니다. ZrO2 도핑에 따른 벌크-박막 전기거동 차이를 규명하고, TFT 보호막 성막을 위한 저GWP 대체가스 및 세정 공정과 AlN 세라믹 히터 개발을 병행하여 소자 기반을 강화합니다.

IGZO 트랜지스터멤트랜지스터2차원 반도체그래핀·MoS2 이종접합전자세라믹스
대표 연구 분야
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IGZO 기반 뉴로모픽 멤트랜지스터의 이종 산화막·페로일렉트릭 제어 연구 thumbnail
IGZO 기반 뉴로모픽 멤트랜지스터의 이종 산화막·페로일렉트릭 제어 연구
Oxide-heterostructure neuromorphic memtransistors with ferroelectric and dielectric control
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연구 성과 추이
표시된 성과는 수집된 데이터 기준으로 산출되며, 일부 차이가 있을 수 있습니다.
주요 논문
5
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1
Article
|
인용수 3
·
2025
Dynamic Control of Synaptic Plasticity by Competing Ferroelectric and Trap‐Assisted Switching in IGZO Transistors with Al 2 O 3 /HfO 2 Dielectrics
Ojun Kwon, Dong Ho Lee, Se‐Young Oh, Jongwon Yoon, Hyo‐Bae Kim, Hyo‐Bae Kim, Ji‐Hoon Ahn, Woojin Park, Han Seul Kim, Han Seul Kim, Byungjin Cho
IF 19 (2025)
Advanced Functional Materials
강유전(ferroelectric) 시냅스 트랜지스터는 저전력 소비와 고속 변조 성능 때문에 뉴로모픽(neuromorphic) 응용 분야에서 큰 주목을 받아 왔다. 그러나 강유전 박막에서의 전하 트래핑(charge trapping)은 시냅스 가중치 업데이트 동안 비선형성, 불안정성, 그리고 재현성 저하를 야기한다. 본 연구에서는 강유전 분극과 전하 트래핑 간의 주파수 의존적 결합을 활용하여, 전례 없는 도전도(conductance) 변조를 달성하는 매몰 게이트(buried gate) 구조의 Al 2 O 3 /HfO 2 유전체 스택을 갖는 InGaZnO 시냅스 트랜지스터를 제시한다. 이중 스위칭 모드의 다목적 도전도 조절 능력은 고도의 선형 도전도 변조를 동시에 달성하면서, 전압 구동에 의한 단일 극성(polarity)에서의 포텐시에이션(potentiation)과 디프레션(depression)까지 가능하게 한다. Al 원자의 HfO 2 층으로의 확산은 추가적인 산소 공공(oxygen vacancies)을 촉진하여, 심층 트랩 상태(deep-level trap states)의 출현에 기여한다. 이러한 결함은 또한 자발적 대칭 깨짐을 통해 비중심성(noncentrosymmetric) 결정상 안정화를 돕고, 그 결과 분극 현상(ferroelectricity)을 유도한다. 이는 밀도범함수이론(density-functional-theory) 시뮬레이션과 압전력 현미경(piezoelectric-force-microscopy) 측정으로 뒷받침된다. 이중 모드의 동작을 충분히 활용함으로써, 해당 소자는 최소 비선형성 0.47로 매우 선형적인 도전도 업데이트를 달성하며, 펄스열(pulse-train) 구성 하에서 단일 전압 극성으로도 포텐시에이션과 디프레션을 구현한다. 또한 필기 숫자 분류(handwritten digit classification)에서 97.03%의 높은 패턴 인식 정확도를 달성한다. 이러한 이중 모드 동작 전략은 집적 뉴로모픽 회로의 아키텍처를 단순화하고 계산 효율을 향상시키기 위한 설득력 있는 경로를 제공한다.
https://doi.org/10.1002/adfm.202513449
Neuromorphic engineering
Ferroelectricity
Conductance
Dielectric
Transistor
Negative impedance converter
Synaptic weight
Non-volatile memory
2
Article
|
인용수 1
·
2025
Chip‐Scale Graphene/IGZO Cold Source FET Array Enabling Sub‐60 mV dec −1 Super‐Steep Subthreshold Swing
Se‐Young Oh, Ojun Kwon, Jongwon Yoon, Eunjeong Cho, Min Jeong Kim, Wondeok Seo, Min-Hee Kim, Shinhoi Kim, Yeongeun Kwon, Yung Joon Jung, Kyungrok Kang, Woojin Park, Yonghun Kim, Byungjin Cho
IF 26.8 (2025)
Advanced Materials
기존에 보고된 산화물 반도체 트랜지스터와 비교했을 때. 제안된 IGZO CSFET 소자는 고속 및 초저전력 전자 회로에서 유의미한 발전을 이룰 것으로 기대된다.
https://doi.org/10.1002/adma.202510618
Materials science
Graphene
Optoelectronics
Transistor
Field-effect transistor
Semiconductor
Subthreshold conduction
Nanotechnology
Electrical engineering
Voltage
3
Article
|
·
인용수 6
·
2023
Conduction Mechanism in Acceptor- or Donor-Doped ZrO2 Bulk and Thin Films
Minseok Kim, Se‐Young Oh, Byungjin Cho, Jong Hoon Joo
IF 8.3 (2023)
ACS Applied Materials & Interfaces
, 누설 전류가 억제되어, 박막에서 전기적 특성을 결정하는 요인이 벌크 재료에서의 요인과 다름을 나타냈다.
https://doi.org/10.1021/acsami.3c04758
Materials science
Doping
Thin film
Dopant
Thermal conduction
Acceptor
Optoelectronics
Leakage (economics)
Capacitor
Conductivity
최신 정부 과제
30
과제 전체보기
1
2025년 5월-2028년 5월
|500,000,000
저차원 융합형 초박막 기반 초경사 트랜지스터글로벌 기초연구실
● 최종목표: 반도체 채널 소재와 선형적인 전자 밀도를 갖는 2D CS(cold-source) 소재의 이상적인 계면 접합 기술 및 게이트 오버랩 구조를 통해, 초저전력 초경사(Subthreshold Swing < 60 mV) 스위칭 특성을 갖는 초저전력 CS 트랜지스터 개발 및 로직/어레이 집적화칩 개발● 세부 목표- 폴리머 랩핑 및 기판 고정 기술을 활용...
콜드소스 전계효과트랜지스터
초경사 스위칭
카본나노튜브
저차원 반도체
어레이집적소자
2
주관|
2023년 6월-2025년 6월
|237,300,000
반도체 공정용 스크린 프린팅 발열체 기반의 AlN 세라믹 히터 개발
본 과제는 반도체 제조 과정 중 포토 공정에서 사용되는 트랙 장비의 핵심 부품인 300mm AlN 세라믹 베이크 히터를 국산화하는 연구임. 이는 현재 일본이 90% 이상 독점하고 있는 시장 의존도를 낮추고, 국내 반도체 산업의 핵심 부품 경쟁력을 강화하는 데 목적이 있음. 연구 목표는 글로벌 독과점 시장을 타개하고, 삼성전자, SK하이닉스와 같은 주요 반도체 칩 제조사의 요구 수준에 맞춰 고도의 온도 균일도를 확보한 차세대 세라믹 히터를 개발하는 것임. 핵심 연구 내용은 1차년도에 멀티 영역 발열체 패턴 설계, 페이스트 선정 및 물성 분석, 소성 공정, 저온 이종접합 적용 등 히터 구성 요소 기술을 확립하는 것임. 2차년도에는 1차년도 결과를 바탕으로 히터에 최적화된 물성을 적용하고, 저항 인쇄 후 저항값을 보정하여 일정하게 조정하는 기술을 최적화하는 데 집중함. 기대 효과는 개발된 AlN 세라믹 베이크 히터를 국내 장비사에 공급하여 2025년 약 12억 원, 2027년 약 41억 원 이상의 매출을 창출하는 것임. 또한, 일본의 독과점 시장을 타개하고 핵심 부품 국산화 기술을 확보함으로써 반도체 부품/장비 국산화에 기여하며 유관 산업에 상당한 파급력을 가질 것으로 전망됨.
포토
트랙
인쇄
질화알루미늄
발열체
3
협동|
2023년 6월-2030년 12월
|1,980,440,000
디스플레이 TFT 보호막 성막을 위한 기상증착공정용 GWP 150 이하의 대체가스 및 공정 기술 개발
본 과제는 디스플레이 제조 공정에서 보호막 증착/세정에 쓰는 저 GWP 가스 후보를 발굴·평가해, 규제 가스(N2O,NF3) 대체 가능성을 준비하는 연구임. 연구 목표는 LAB 규모에서 가스 발굴 및 평가 DB 구축, Pilot 규모에서 생산 기술·박막 특성·공정 평가로 양산 대체를 확인하는 것임. 핵심 연구 내용은 예상 목표 가스 시뮬레이션과 증착(A)·세정(A) LAB 초도 구현, (A)(B)(C) 및 (B) 가스 개선과 Scale-up, 증착/세정 공정 최적화 및 Pilot Scale 평가 기준 확립임. 기대효과는 탄소 중립 정책 및 가스 규제 대응을 통한 산업 변화 준비, 핵심 소재 의존도 완화, 공정 인프라 및 저탄소기술 신뢰성 확보임.
증착가스
세정가스
저 지구온난화지수
합성공정
디스플레이 챔버 세정 공정
최신 특허
특허 전체보기
상태출원연도과제명출원번호상세정보
등록2025시냅스 소자 및 이의 제조 방법1020250088468
공개20242차원 전이금속계 금속성 게이트 전극을 포함한 트랜지스터 및 이의 제조 방법1020240031227
거절2022상온에서 동작 가능한 질소산화물 검출용 가스 센서 및 이의 제조방법1020220117009
전체 특허

시냅스 소자 및 이의 제조 방법

상태
등록
출원연도
2025
출원번호
1020250088468

2차원 전이금속계 금속성 게이트 전극을 포함한 트랜지스터 및 이의 제조 방법

상태
공개
출원연도
2024
출원번호
1020240031227

상온에서 동작 가능한 질소산화물 검출용 가스 센서 및 이의 제조방법

상태
거절
출원연도
2022
출원번호
1020220117009