Micro/nano-tribological characteristics of self-assembled monolayer and its application in nano-structure fabrication

Nanoprobe 응용기술 동향

Applications of Probe Based Methods for Nanolithography

UV 레이저 마이크로머시닝의 가공경로생성에 관한 연구

비접촉 센서를 이용한 레이저 자동 포커싱

유기 자기조립 단분자막의 레이저 포토 패터닝을 이용한 금속 박막의 미세 형상 가공 기술

광경화성 폴리머를 이용한 레이저 미세패터닝의 기초연구

레이저 직접 묘화를 이용한 광경화성 폴리머의 도파로 제작 및 특성 평가

UV 레이저 빔 중첩 가공에 의한 마이크로 채널 제작

레이저를 이용한 웨이퍼 절단에 관한 기초연구