원자층증착법을 이용한 산화물 반도체 소재 개발 및 소자화 연구

한국화학연구원

2024년 - 2024년 12월

초고효율 탠덤(다중접합)용 페로브스카이트 태양전지 요소기술 개발

한국연구재단

2024년 - 2025년

저온공정을 통한 30% 이상 초고효율 태양전지 요소기술 개발 (3차년도)

한국전력공사전력연구원

2022년 03월 - 2023년 02월

ALD 기반의 차세대 반도체 배선 소재 개발

한국연구재단

2022년 - 2023년 02월

몰리브데늄 금속 박막의 원자층 증착을 위한 불소 없는 몰리브데늄 전구체에 관한 연구

한국산업기술평가관리원

2022년 - 2022년 12월

알칼리 금속 도핑을 통한 고성능 p형 전도성 산화물 개발 및 투명 로직 소자 응용

한국연구재단

2021년 03월 - 2022년 02월

저온공정을 통한 30% 이상 초고효율 태양전지 요소기술 개발 (2차년도)

한국전력공사전력연구원

2021년 03월 - 2022년 02월

차세대 DRAM Capacitor 적용을 위한 SrTiO3BaTiO3 Superlattice 고유전율 박막 개발

한국산업기술평가관리원

2021년 - 2021년 12월

니켈 파우더에 다양한 이종원소의 ALD 코팅 기술 개발

삼성전기(주)

2020년 05월 - 2021년 05월

저온공정을 통한 30% 이상 초고효율 태양전지 요소기술 개발 (1차년도)

한국전력공사전력연구원

2020년 03월 - 2021년 02월