MS 연구실(Compound Semiconductor Devices & Circuits Laboratory)은 동아대학교 전자공학과 소속으로, 화합물 반도체 기반의 첨단 소자 및 회로 기술 개발에 주력하고 있습니다. 본 연구실은 InGaAs, InP, GaAsSb, Ga2O3 등 다양한 화합물 반도체 소재를 활용하여 자외선부터 중적외선에 이르는 광센서, 포토트랜지스터, 단일광자 검출기 등 고성능 광전자 소자 연구에 집중하고 있습니다. 이를 위해 미스트 화학기상증착, 금속-유기 화학기상증착, 금속 웨이퍼 본딩 등 첨단 박막 성장 및 이종접합 기술을 적극적으로 도입하고 있습니다. 연구실은 고감도, 저잡음, 고속 응답 특성을 갖는 광센서 소자 개발을 목표로, 나노구조 설계, 표면 플라즈몬 공명, 미세 패터닝 등 다양한 소자 구조 및 공정 기술을 연구합니다. 또한, 실리콘 기판 위에 III-V족 반도체를 집적하거나, 금속 나노점 기반 이종접합 박막 성장 등 혁신적인 소자 제조 공정을 개발하여, 차세대 적외선 카메라, 자외선 검출기, 바이오 및 환경 센서 등 다양한 응용 분야에 적용하고 있습니다. 차세대 전력반도체 및 집적회로 공정 기술 개발도 연구실의 주요 연구 분야 중 하나입니다. 전계효과 트랜지스터, 쇼트키 다이오드, 고전압 센서 등 다양한 전력반도체 소자와, BCB 평탄화, 인듐 범프 형성, 나노스케일 패터닝 등 미세 가공 기술을 활용한 3차원 집적회로 및 하이브리드 센서 어레이 제조 기술을 연구합니다. 또한, 프린팅 방식의 수동소자 내장 스너버 회로, 고온동작 단일광자 검출기 등 혁신적인 특허 기술도 다수 보유하고 있습니다. 연구실은 국내외 산학연 협력 프로젝트를 통해 실리콘 포토닉스, Ga2O3 기반 자외선 검출기, 안티몬 기반 중적외선 검출기, 저잡음 SWIR 단일광자 검출기 등 다양한 응용 분야의 연구를 활발히 수행하고 있습니다. 이를 통해 미래 반도체 및 광전자 산업의 핵심 원천기술을 확보하고, 실용화 및 상용화 연구에도 적극적으로 참여하고 있습니다. MS 연구실은 열정과 창의성을 바탕으로, 첨단 반도체 소자 및 회로 기술의 연구개발을 선도하고 있습니다. 다양한 연구성과와 특허, 산학협력 경험을 바탕으로, 미래 반도체 산업의 경쟁력 강화와 신시장 창출에 기여하고 있습니다.