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Article|
인용수 4
·2022
High performance carbon nanotubes thin film transistors by selective ferric chloride doping
Noh‐Hwal Park, Eun Sol Shin, Gi‐Seong Ryu, Jimin Kwon, Dongseob Ji, Hyunjin Park, Yun Ho Kim, Yong‐Young Noh
IF 3.7 (2022) Journal of Information Display
초록

단일벽 탄소 나노튜브(SWNT)는 결정성 실리콘을 능가하는 높은 전하 운반자 이동도 때문에 박막 트랜지스터(TFT)의 활성층으로서 중요한 연구 주제였다. 본 연구에서는 얇은 염화철(FeCl3) 도펀트 층과의 접촉을 통한 선택적 도핑으로 용액 공정한 반도체성 SWNT TFT에서 매우 높은 전계효과 이동도 및 높은 on/off 비를 달성하기 위한 효과적인 접근법을 보고한다. 반도체층은 고순도(>99%) 고압 일산화탄소(HiPCO) SWNT를 폴리(3-도데실티오펜-2,5-일) (P3DDT)로 감싸(wrapping)하여 분류한 시료를 이중 스핀 코팅하여 형성하였다. 오프 상태 드레인 전류를 증가시키지 않으면서 상부 Au 소스 전극으로부터의 효과적인 정공 주입을 달성하기 위해, 상부에 HiPCO 필름의 위쪽으로 플라즈마 방전 공정으로 제조된 덜 정제(98–99%) SWNT를 폴리(9,9-디-n-도데실플루오렌) (PFDD)로 감싸 분류하여 형성하였다. 몇 나노미터 규모의 FeCl3 도펀트 층을 반도체-접촉 계면에 삽입함으로써 TFT 성능이 유의미하게 향상되었다. 접촉부에서 FeCl3 도펀트의 농도(두께 = 1.5 nm)를 제어하여, 합리적인 on/off 전류비 10(5) 및 낮은 오프 전류 약 80 pA를 갖는 48.35 +/- 3.11 cm(2)V(-1)s(-1) (무처리: 6.18 +/- 0.87 cm(2)V(-1)s(-1))의 유의미하게 높은 정공 전계효과 이동도를 얻었다. FeCl3 도펀트 층의 두께를 2.5 nm로 증가시키면 이동도는 추가로 향상되어, 정공 이동도 177 +/- 13.2 cm(2) V(-1)s(-1), on/off 비 7.4 x 10(3), 및 오프 상태 전류 1.2 x 10(-9) A를 달성하였다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
Materials scienceDopantThin-film transistorDopingElectron mobilityOptoelectronicsLayer (electronics)Carbon nanotubeFerricSilicon
타입
Article
IF / 인용수
3.7 / 4
게재 연도
2022