본 논문에서는 반도체 제조공정의 포토공정에 사용되는 TRACK 설비에서 고가의 포토레지스트를 웨이퍼에 정량 및 정압으로 토출할 수 있는 펌프를 제안하였다. 포토레지스트의 기술적 요구사항은 대량생산의 특성상 단한번의 오류도 허용되지 않는 높은 수준의 신뢰성을 요구하고 있다. 또한, 반도체 제조라인에서는 원가절감을 위해 지속적인 노력을 기울여 현재 12인치 웨이퍼 코팅을 기준으로 0.8cc~1.5cc의 포토레지스트를 사용하고 있다. 포토레지스트 사용량이 줄어들면서 정량토출 및 Cut-off/suck-back 제어의 정밀도와 정확성 향상이 수율 향상을 위한 대책으로 필수적이다. 제안된 펌프는 초소형 다이아프램과 리니어 모터를 이용한 Cut-off/Suck-back valve 구동장치로 구성되며, 5ml 토출을 기준으로 기존 Millipore사 Intelligen RDS 펌프의 ±0.02ml 이내 대비 최소 ±0.008ml 이내에서 최대 ±0.018ml 이내의 정량 특성을 나타내어 각 구간 측정 오차가 ±0.02ml 범위내에 포함됨을 확인하였다.

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