모든 정수장, 배수지, 상수 관로상, 소규모 급수시설, 마을상수도 등 상수도 시설 전반의 수돗물 소독을 위해 공급되는 원수에 차아염소산나트륨(NaOCI) 수용액을 투입하고 있다. 투입되는 차아염소산나트륨 수용액을 보관하는 과정에서 자연적으로 무기계, 소독부산물인 클로레이트(ao^-3)가 생성된다. 생성된 클로레이트는 최근 환경부의 규제 대상으로 추가되었으며, 이러한 유해성을 해결하기 위한 염소투입장치를 제안하였다. 제안된 시스템은 클로레이트 농도의 온도 상관성에 근거한 사용한계시간에 따라 유효사용시간을 산정하고, 유효사용시간에 근거하여 차아염소산나트륨 수용액의 투입 여부를 결정할 수 있다. 차아염소산나트륨 수용액을 관로의 원수에 투입하는 염소 투입시스템은 원수의 유량을 검출하는 유량감지기와 원수에 약품을 투입하는 약품투입기, 내부에 투입한 차아염소산나트륨 수용액의 온도 검출기 및 약품 저장탱크, 차아염소산나트륨 수용액을 약품투입기에 공급하는 정량펌프로 구성된다. 차아염소산나트륨 발생장치의 약품생산 전해조로 투입되는 원수를 15℃로 냉각하고, 전해조에 냉각관을 삽입하여 온도를 낮게 유지한 상태에서 생산된 차아염소산나트륨의 유해성분을 확인한 결과 수질 기준을 충족하는 원수를 안전하면서도 안정적으로 공급할 수 있고, 보관 중인 차아염소산나트륨 수용액의 유효 염소농도를 보다 정확하게 검출하고 정량의 잔류염소농도를 유지함으로서 효율적인 소독이 가능하였다.

본 논문에서는 반도체 제조공정의 포토공정에 사용되는 TRACK 설비에서 고가의 포토레지스트를 웨이퍼에 정량 및 정압으로 토출할 수 있는 펌프를 제안하였다. 포토레지스트의 기술적 요구사항은 대량생산의 특성상 단한번의 오류도 허용되지 않는 높은 수준의 신뢰성을 요구하고 있다. 또한, 반도체 제조라인에서는 원가절감을 위해 지속적인 노력을 기울여 현재 12인치 웨이퍼 코팅을 기준으로 0.8cc~1.5cc의 포토레지스트를 사용하고 있다. 포토레지스트 사용량이 줄어들면서 정량토출 및 Cut-off/suck-back 제어의 정밀도와 정확성 향상이 수율 향상을 위한 대책으로 필수적이다. 제안된 펌프는 초소형 다이아프램과 리니어 모터를 이용한 Cut-off/Suck-back valve 구동장치로 구성되며, 5ml 토출을 기준으로 기존 Millipore사 Intelligen RDS 펌프의 ±0.02ml 이내 대비 최소 ±0.008ml 이내에서 최대 ±0.018ml 이내의 정량 특성을 나타내어 각 구간 측정 오차가 ±0.02ml 범위내에 포함됨을 확인하였다.