성균관대학교 신소재공학과 김한기 교수
김한기 연구실은 디스플레이와 광소자에 적용되는 박막 전극 및 공정 기술을 중심으로 연구를 수행합니다. 특히 투명전극 산화물 박막에서 조성 및 도핑을 제어하여 계면 전하수송과 광 투과 특성을 개선하고, 습식 식각 공정을 통해 OLED 전극 패터닝에 필요한 공정 조건을 확보합니다. 또한 isolated plasma soft deposition과 같은 저손상 증착 전략을 활용해 대면적 2D MoS2 박막 및 기능성 산화물 박막을 제작하고, 전기변색과 전기화학 성능 평가까지 연계하여 소자 구현 가능성을 검증합니다.
화학기상증착장치
2차원 물질 증착 장치 및 2차원 물질 증착 방법
수소 도핑을 통한 IGTO 박막 에칭 방법