안지훈 교수 연구실
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The 28th edition of the IEEE International Interconnect Technology Conference (IEEE IITC)
Atomic Layer Deposition of Ru Using New Zero-Oxidation State Ru precursor
구분
국외
국가
대한민국
컨퍼런스명
The 28th edition of the IEEE International Interconnect Technology Conference (IEEE IITC)
발표 제목
Atomic Layer Deposition of Ru Using New Zero-Oxidation State Ru precursor
기관명
IEEE
참여 연도
2025
상세 설명
IEEE
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