|김호준 교수 연구실
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3RD INTERNATIONAL FUSION AND PLASMA CONFERENCE (iFPC 2024)
DFT Analysis of The Adsorption of SinH2n+1 on Silicon Surfaces using SiH4/Ar Capacitively Coupled Plasmas for Fast and Uniform Deposition
구분
국외
국가
대한민국
컨퍼런스명
3RD INTERNATIONAL FUSION AND PLASMA CONFERENCE (iFPC 2024)
발표 제목
DFT Analysis of The Adsorption of SinH2n+1 on Silicon Surfaces using SiH4/Ar Capacitively Coupled Plasmas for Fast and Uniform Deposition
기관명
(사) 한국가속기 및 플라즈마 연구협회 [Korea Accelerator and Plasma Research Association]
참여 연도
2024
상세 설명
(사) 한국가속기 및 플라즈마 연구협회 [Korea Accelerator and Plasma Research Association]