Computer simulation study for the design of a capacitively coupled plasma reactor for efficient formation of silicon nano particles | 김호준 교수 연구실 | 한양대학교 기계공학과

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과제

구성원

2024 International Forum on Functional Materials

Computer simulation study for the design of a capacitively coupled plasma reactor for efficient formation of silicon nano particles

구분

국외

국가

대한민국

컨퍼런스명

2024 International Forum on Functional Materials

발표 제목

Computer simulation study for the design of a capacitively coupled plasma reactor for efficient formation of silicon nano particles

기관명

한국진공학회

참여 연도

2024

상세 설명

한국진공학회