Insights into Tri-silane induced surface reactions on silicon: A first-principles study | 김호준 교수 연구실 | 한양대학교 기계공학과

홈

연구 영역

기본 정보

논문·특허

과제

구성원

Article|

인용수 0

·2026

Insights into Tri-silane induced surface reactions on silicon: A first-principles study

Ho Jun Kim, Yunseok Kim, Hwanyeol Park

IF 6.3 (2026) Surfaces and Interfaces

키워드

AdsorptionExothermic reactionSiliconSilaneDissociation (chemistry)Activation energySurface energyDensity functional theoryThin film

타입

Article

IF / 인용수

6.3 / 0

원문

게재 연도

2026