Elucidating the super-cycle mechanism in atomic layer growth of HfAlOx ternary metal oxide from an ab-initio study | 김호준 교수 연구실 | 한양대학교 기계공학과

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·2026

Elucidating the super-cycle mechanism in atomic layer growth of HfAlOx ternary metal oxide from an ab-initio study

Yunseok Kim, Seulwon Choi, Ho Jun Kim, Hwanyeol Park

IF 6.3 (2026) Surfaces and Interfaces

키워드

Atomic layer depositionTernary operationExothermic reactionDielectricOxideHafniaDensity functional theoryDissociation (chemistry)Metal

타입

Article

IF / 인용수

6.3 / 0

원문

게재 연도

2026