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Preprint
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인용수 0
·
2025
Multiscale Computational Fluid Dynamics Modelling of Spatial Atomic Layer Deposition Processes: Application to Chamber Design and Process Control
Yunseok Kim
,
Seulwon Choi
,
Huichan Kang
,
Ho Jun Kim
,
Hwanyeol Park
SSRN Electronic Journal
키워드
Deposition (geology)
Computational fluid dynamics
Process (computing)
Layer (electronics)
Atomic layer deposition
Dynamics (music)
Materials science
Computer science
Nanotechnology
Mechanics
타입
Preprint
IF / 인용수
- / 0
원문
https://doi.org/10.2139/ssrn.5271732
게재 연도
2025