|김호준 교수 연구실
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·2026
Multiscale computational fluid dynamics modelling of spatial atomic layer deposition processes: Application to chamber design and process control
Yunseok Kim, Seulwon Choi, Huichan Kang, Ho Jun Kim, Hwanyeol Park
IF 6.3 (2026) Surfaces and Interfaces
키워드
Computational fluid dynamicsAtomic layer depositionSubstrate (aquarium)Deposition (geology)AdsorptionParametric statisticsVortexThin filmFlow (mathematics)Parametric design
타입
Article
IF / 인용수
6.3 / 0
원문
https://doi.org/10.1016/j.surfin.2026.108550
게재 연도
2026