AlN 버퍼와 단계구조 완충층, in situ SiN 패시베이션을 기반으로 AlGaN/GaN HEMT의 트랩·누설·전류 분산을 억제하고 방사선 조건에서 안정성을 확보하는 연구

전기방사 탄소 나노섬유와 CNT 섬유, 폴리머 전해질을 조합하여 이온 수송과 전극 반응을 동시에 향상시키는 유연 에너지 저장 소자 연구

스텝앤스캔 방식 노광에서 장비·공정 제약을 고려해 스캔 속도를 최적화하고 웨이퍼 노광 시간의 분석적 형태를 도출하는 연구