이상헌 교수 연구실
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주사탐침현미경
10-2019-0114313
2019.09
정밀위치결정장치
PCT/KR2018/005650
2018.05
정밀위치결정장치(Precision positioning device)
10-2017-0062815
2017.05
멀티콥터를 이용한 표면 검사 장치(A surface inspection apparatus using a multi-coptor)
10-2015-0135638
2015.09
프로브 회전형 원자현미경의 프로브 정렬도 측정 방법
10-2015-0128771
2015.09
멀티콥터를 이용한 표면 검사 장치
10-2015-0135638
2015.09
프로브 회전형 원자현미경의 프로브 정렬도 측정 방법(Probe alignment measurement method for probe rotary type atomic force microscope)
10-2015-0128771
2015.09
비점수차를 이용한 변위 센서 및 그 변위 측정방법(Displacement Sensor Using Astigmatism and Sensing Method thereof)
10-2015-0071651
2015.05
비점수차를 이용한 변위 센서 및 그 변위 측정방법
10-2015-0071651
2015.05
배관 외부 검사 장치
10-2015-0067314
2015.05
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