원격 진단 및 이상 진단 기능을 가지는 교반기(Agitator that can do remote and disorder diagnosis)

다자유도 운동 측정장치 및 방법 (device and method for measurement multi-degree of freedom movement)

회전 측정이 가능한 서피스 엔코더 및 그 측정 방법

공극변위측정을 이용한 평면 스테이지 면내 위치 검출방법 및 장치

평면 위치결정기구