한양대학교 차세대반도체융합공학부 유봉영 교수
유봉영 연구실은 습식 재료 공정과 전기화학 기반 전해도금/전착 기술을 이용하여 기능성 나노소재와 전기화학 소자를 제작합니다. 전류·전위 조건 및 전해질 안정성, 결함/응력 등 공정 변수를 제어해 구리 나노구조 박막과 금속-수산화물 전극을 형성하고, 전기화학 임피던스와 표면 분석으로 성능과 열화 요인을 해석합니다. 동시에 3D 유리 인터포저의 TGV 및 관통 홀을 위한 선택적 구리 충진과 도금 신뢰성 공정, 습도·수소 변색 센싱, PEMFC 부식 보호 및 수전해 촉매 응용 연구를 수행합니다.
5개년 연도별 논문 게재 수
5개년 연도별 피인용 수
열내구성 TGV 기판 및 이의 제조 방법
반도체 웨이퍼 전해 폴리싱 장치 및 이를 포함하는 연속 전해 장치
콘크리트 환경의 실시간 습도 검출을 위한 습도센서 제조방법