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[2018년] 제주도(전자파학회_하계종합학술대회)

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극자외선 리소그래피용 소재의 광학 특성 테스트 플랫폼 개발

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밀리미터파 대력 회로의 안정도 평가

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A study on the Hydrogen Plasma induced material damage for EUV lithography components and material evaluation

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플라즈마 정밀 측정을 위한 OES 센서 신뢰성 평가 시스템 개발