코발트 금속배선 건식식각용 식각가스 개발 및 코발트 박막의 건식식각 공정개발(2차년도)

한국산업기술기획평가원

2023년 - 2023년 12월

[Ezbaro][국고] 핵심연구지원센터 조성지원과제(3D 나노융합소자연구센터)(1차년도)

한국기초과학지원연구원

2022년 06월 - 2023년 02월

코발트 금속배선 건식식각용 식각가스 개발 및 코발트 박막의 건식식각 공정개발(1차년도)

한국산업기술기획평가원

2022년 04월 - 2022년 12월

산업미세먼지저감 및 화학안전관리 전문인력양성사업(3차년도)

한국산업기술진흥원

2022년 03월 - 2023년 02월

산업미세먼지저감 및 화학안전관리 전문인력양성사업(2차년도)

한국생산기술연구원

2021년 03월 - 2022년 02월

구리 건식 식각용 비온실 식각가스 개발 및 구리 박막의 건식 식각공정 개발 (5차년도)

한국산업기술기획평가원

2021년 - 2021년 12월

(국고-8차년도)분자촉매 설계 및 응용연구 사업단

한국연구재단

2020년 03월 - 2020년 08월

[Ezbaro] 차세대 반도체 메모리소자, 나노소자, MEMS 및 박막센서들에 적용을 위한 박막 및 적층구조의 나노식각공정에 의한 극미세 나노미터 패턴의 형성

한국연구재단

2020년 03월 - 2020년 05월

산업미세먼지저감 및 화학안전관리 전문인력양성사업(1차년도)

한국생산기술연구원

2020년 03월 - 2021년 02월

구리 건식 식각용 비온실 식각가스 개발 및 구리 박막의 건식 식각공정 개발 (4차년도)

한국산업기술기획평가원

2020년 - 2020년 12월