자기 조립된 금속 산화막 나노기둥을 이용하여 고밀도 플라즈마 반응성 이온 식각에 의한 나노구조체의 형성

한국학술진흥재단

2005년 05월 - 2006년 03월

신자성 물질의 식각공정 개발

한국과학기술원

2005년 04월 - 2006년 03월