발행물
컨퍼런스
IEEE
,
Preparation of AZO/ZnO/AZO/SiO2/Si Thin Film for FBAR
Materials Research Society
PREPARATION ZnO THIN FILMS BY FACING TARGETS SPUTTERING SYSTEM
IMPROVEMENT OF CRYSTALLOGRAPHIC CHARACTERISTICS OF COCRTA THIN FILM USING DOUBLE UNDERLAYER
한국진공학회
대향타겟식 스퍼터법에 의한 ZnO:Al 박막의 제작