주요 특허
옥시수산화철을 이용한 수소생산방법
상태
등록출원연도
2019출원번호
1020190090036대향 타겟식 스퍼터링 장치
상태
등록출원연도
2018출원번호
1020180109915| 상태 | 출원연도 | 과제명 | 출원번호 | 상세정보 |
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| 상태 | 출원연도 | 과제명 | 출원번호 | 상세정보 |
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옥시수산화철을 이용한 수소생산방법
대향 타겟식 스퍼터링 장치
옥시수산화철을 이용한 수소생산방법
대향 타겟식 스퍼터링 장치
대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 고배향성 박막 제작법
초 고밀도 자기기록 디스크 제작용 대향타겟 스퍼터장치중 회전식 기판 홀더.
자성 다층 박막 제작용 대향 타겟식 스퍼터링 장치.