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260

241

실리콘 선택적 결정 성장 공정을 이용한 elevated source/drain을 갖는 NMOSFETs 소자의 특성연구
박정호
전기학회논문지, 200203

242

인듐과 주석막의 중간층이 ITO/Si 접촉 저항에 미치는 영향
박정호
대한금속·재료학회지, 200105

243

기능성 재료의 액추에이터 응용
박정호
전기전자재료학회지, 200102

244

DEFECT ANALYSIS OF A MELO-SI OVER SIO2 STRIPS OF DIFFERENT WIDTHS AND SPACINGS
박정호, KIM, BS, NEUDECK, GW
J KOREAN PHYS SOC, 200012

245

전도성 고분자를 이용한 마이크로 액추에이터의 제작
박정호
전기학회논문지, 200012

246

다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 위한 점착 방지법들의 성능 비교
박정호
센서학회지, 200005

247

RIE 식각시 발생하는 비등방도 변화에 따른 머리빗형 액튜에이터의 동작 특성 분석
박정호
센서학회지, 199909

248

MEMS 응용을 위한 Ar+ 이온 레이저에 의한 단결정/다결정 실리콘 식각 특성
박정호
전기학회논문지A.B.C.D, 199905

249

집속 아르곤 이온 레이저 빔을 이용한 실리콘 기판의 식각
박정호
전기학회논문지A.B.C.D, 199904

250

전력사고 예방을 위한 마이크로 소자의 개발
박정호
'97년도 한국전력공사 지원 전력기술 기초연구 성과발표 논문집, 199810