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전체 논문

260

251

MEMS 기술에 의한 자이로스코프의 초소형화
박정호
전기전자재료학회지, 199804

252

초소형 yaw rate sensor 설계, 공정기술 및 검지회로의 개발
박정호
199801

253

Comb 액츄에이터의 제작 공정 편차에 따른 특성 변화 예측
박정호
J. Information & Communication Technology, 199712

254

Resonant gate transistor를 이용한 초소형 실리콘 가속도계의 설계에 관한 연구
박정호
J. Information & Communication Technology, 199712

255

미세가공 기술을 이용한 초소형 각속도계의 연구동향
박정호
전기학회지, 199703

256

표면 마이크로머시닝 기술과 FET gate 유전층 두께변화 검지방법을 이용한 가속도계의 설계 및 분석
박정호
J. ENG. SCI. & TECH., 199701

257

초소형 실리콘 2축 각속도 센서의 설계 및 분석
박정호
정보통신논문지, 199612

258

마이크로머시닝 기술을 이용한 자이로센서
박정호
공학논문집, 199611

259

생체분자막 증착기술과 마이크로머시닝 공정을 이용한 초소형 바이오센서 시스템의 개발에 관한 연구
박정호
'95 교육부지원 생물화학공학 학술연구결과논문집 - 생물화학공학의 동향 1, 199501

260

MEMS 기술을 이용한 마이크로센서에의 응용
박정호
중앙대학교 생산공학연구소 학술발표 논문집, 199501