김종만 교수 연구실
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선택적 파장 인식 원리를 이용한 플렉시블 형상 기억 아이 모듈
1020100040435
ＳｉＯＧ 기판을 이용한 미세구동기 및 그 제조방법 (The Micro-Electro-Machine Using SiOG Substrate and manufacturing method of the same)
10-0591862-0000
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