반도체 나노선 및 이의 제조방법과, 이를 포함하는 반도체소자

반도체 나노 구조체 및 이의 제조방법과, 이를 포함하는 반도체 소자

다공성 나노 템플레이트를 이용하여 제조된 반도체 나노선 및 이의 제조방법과 이를 포함하는 반도체 소자

실리사이드 촉매를 이용한 나노 와이어 제조 방법

나노 와이어 및 반도체 소자 제조방법

나노선을 이용한 수직형 반도체 소자 제작 및 이의 제조 방법

저온 플라즈마 산화막을 이용한 반도체 소자의 소자분리막 형성방법

반도체 소자의 금속선 패터닝

하드마스크를 이용한 반도체 소자의 게이트 전극 제조 방법

폴리메탈 게이트 전극을 갖는 트랜지스터 제조 방법