게이트 유전막의 신뢰도 측정용 소자 및 그를 이용한 게이트 유전막의 신뢰도 측정 방법

희생 측벽 스페이서를 이용한 모스에프이티 제조 방법

플라즈마를 이용한 이중 게이트 산화막 형성방법

절연막 마스크를 이용한 반도체 소자의 패턴

다마신공정을 이용한 반도체 소자의 제조방법

게이트전극 및 그를 구비한 반도체 소자의 제조 방법

게이트 재산화법을 이용한 반도체 소자의 제조

적층 게이트 전극 및 그를 구비하는 반도체

반도체소자의 듀얼 게이트 산화막 제조방법

계면 반응이 억제된 적층 게이트전극 및 그를 구비한 반도체 소자의 제조 방법