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C-V characteristics and photoluminescence of porous silicon sensors for alcohol sensing

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C-V and photoluminescence properties of alcohol vapor sensors based on porous silicon

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유기가스검지를 위한 다공질실리콘층의 전기저항 의존성

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스퍼터된 바나듐 산화막의 구조적 특성에 미치는 진공 어닐링의 효과

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Residual stress of EN film and its relationship with structural properties for MEMS applications