스퍼터링으로 증착된 바나듐 산화막의 구조적, 광학적, 전기적 특성에 미치는 산소 분압의 효과

Capacitive porous silicon sensors for measurement of los alcohol gas concentration at room temperature.

Humidity sensors using porous silicon layer with mesa structure

스퍼터링으로 퇴적시킨 바나듐 산화막의 구조적, 광학적 특성에 미치는 산소어닐링의 효과

고온에서 Pd 전극의 형태가 수소 센서의 감도에 미치는 영향

SiC 기판상에 반응 스퍼터링에 의해 형성된 TiO2막의 수소가스 검지 특성

Hydrogen Gas Sensors Using a Thin Ta2O5 Dielectric Film

감지막으로 Ta2O5를 이용한 정전용량형 수소 가스센서

Pd/Ta2O5/SiC Schottky-diode Hydrogen Sensors Formed by Using Rapid Thermal Oxidation of Ta Thin Films

Variation in the Resistance Response of CNT-based Thin Film by Silane Binder with Changes in Humidity