In-cavity 전착반응 기반 구조-계면 일체형 1,000Wh/L급 고안전-장수명 리튬금속전지 기술 개발
1000Wh/L급 장수명-고안전성 리튬금속전지 핵심 소재 및 셀 기술 개발
리튬금속 음극
전지플랫폼
In-cavity 전극설계
리튬금속전지
2
2023년 6월-2030년 12월
|3,637,856,000원
OLED 디스플레이용 산화물 TFT 절연막 패턴 형성을 위한 150이하의 저온난화지수를 지니는 F 기반 PFC 대체가스 개발
ㅇ 최종목표 - 150 이하 저온난화 지수를 지니는 Fluorine-Rich PFC 대체가스 후보군 발굴 - 실험실 규모 대체가스 합성 공정 개발 - 벤치규모 대체가스 제조 및 고순도화 정제 공정 개발 - 대체가스 구조-물성-식각 특성 상관관계 예측 플랫폼 개발 - OLED 디스플레이 Oxide TFT용 절연막 패턴 형성 식각 특...
탄소중립가스
저GWP
플라즈마 식각가스
디스플레이 식각공정
산화물 반도체 식각
3
2023년 6월-2030년 12월
|3,023,629,000원
OLED 디스플레이용 산화물 TFT 절연막 패턴 형성을 위한 150이하의 저온난화지수를 지니는 F 기반 PFC 대체가스 개발
ㅇ 최종목표 - 150 이하 저온난화 지수를 지니는 Fluorine-Rich PFC 대체가스 후보군 발굴 - 실험실 규모 대체가스 합성 공정 개발 - 벤치규모 대체가스 제조 및 고순도화 정제 공정 개발 - 대체가스 구조-물성-식각 특성 상관관계 예측 플랫폼 개발 - OLED 디스플레이 Oxide TFT용 절연막 패턴 형성 식각 특...
OLED 디스플레이용 산화물 TFT 절연막 패턴 형성을 위한 150이하의 저온난화지수를 지니는 F 기반 PFC 대체가스 개발
본 과제는 저온난화 지수 150 이하의 Fluorine-Rich PFC 대체 식각 가스를 개발해 OLED 디스플레이 Oxide TFT용 절연막 공정에 적용하는 연구임.
연구 목표는 실험실·벤치·Pilot 규모 합성 및 고순도화 정제 공정 구축, 구조-물성-식각 특성 상관관계 예측 플랫폼 개발, 최적화 절연막 식각 공정 및 필드 테스트를 통한 실증화임. 핵심 연구 내용은 후보군 발굴, 정제 순도 99.0%·99.99%급 제조, 식각율·CD Bias·하부막 Damage·선택비·패턴 형상 제어, 식각 부산물 최소화, 200x200㎟ 이상 검증 및 100MT/년 급 상용공정 설계 패키지 도출임. 기대효과는 95~99% 온실가스 감축 및 해외 기술의존도 저감과 특허·수출경쟁력 확보임
본 연구 목표를 달성하기 위해 아래와 같은 세부 연구 단계들을 계획함
1. 1차년도 연구목표: p-/n-유형 도핑에 따른 결정질 실리콘 구조에서의 광열화 현상 메커니즘 규명
- 도핑 유형과 도핑 원소에 따른 결정질 실리콘 구조에서 O2 분자와의 반응에 의한 광열화 현상 메커니즘 탐색
- 기존 연구에서 고려되지 않은 p-유형 도핑 원소(예: Ga, Al), n-유형 도핑(P 원소 도핑), 2가지 이상의 도핑 원소 조합을 고려할 예정이며, 다양한 구조의 시스템(벌크, 표면, 나노클러스터)도 고려할 예정임
● 결정질 실리콘 구조와 O2 분자간 흡착 에너지 및 전자 구조 변화 탐색
● 실리콘 원자 또는 도핑 원자와 O2 분자간 반응 메커니즘 탐색
● 전자-홀 재결합 탐색
● H2O 분자에 의한 광열화 현상 촉진 여부 탐색
2. 2차년도 연구목표: 유·무기물 기반 페로브스카이트 구조에서의 광열화 현상 메커니즘 규명
- FAPbI3 기반 고효율 페로브스카이트 구조에서 O2 분자와의 반응에 의한 광열화 현상 메커니즘 규명
- 이종 원소 도핑(예: MA, Cs, Br)을 통해 구조 안정성을 향상시킨 FAPbI3 기반 페로브스카이트 구조를 고려할 예정이며, 다양한 구조의 시스템(벌크, 표면, 나노클러스터)도 고려할 예정임
● 페로브스카이트 구조와 O2 분자간 흡착 에너지 및 전자 구조 변화 탐색
● 페로브스카이트 구성 원자와 O2 분자간 반응 메커니즘 탐색
● 전자-홀 재결합 탐색
● H2O 분자에 의한 광열화 현상 촉진 여부 탐색