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Article
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·
인용수 1
·
2024
A Structured Illumination Microscope with the Combination of Optical Sectioning and Lateral Resolution Enhancement for Precise 3D Industrial Metrology
Jong-Kyu Park
,
Min Seo Cho
,
Ki-Nam Joo
IF 3.6 (2024)
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
키워드
Metrology
Microscope
Optics
Optical microscope
Resolution (logic)
Materials science
Optical sectioning
Microscopy
Computer science
Artificial intelligence
타입
Article
IF / 인용수
3.6 / 1
원문
https://doi.org/10.1007/s12541-024-01164-8
게재 연도
2024