A New Funding

National Research Foundation (NRF)

2019년 03월 - 2021년 02월

이차원 반도체 소재의 8인치급 대면적 원자층 증착 장비 개발 및 광센서 응용

산업통상자원부

2025년 - 2025년 12월

차세대 하이브리드 본딩용 다층 구리 재배선 및 저저항 복합 배선 EP/ALD 융합공정 개발

과학기술정보통신부(2017Y)

2025년 - 2025년 12월

1 nm 두께의 강유전 초극박막 특성 구현을 위한 소재 및 공정 개발

산업통상자원부

2024년 - 2024년 12월

초고용량 DRAM 커패시터 구현을 위한 강유전체 기반 다층구조 커패시터 개발

산업통상자원부

2024년 - 2024년 12월

2차원 채널소재 적용 고성능 BEOL FET 소자 구현 기술 개발

산업통상자원부

2022년 - 2022년 12월

차세대 메모리 소자를 위한 고온증착용 Hf precursor 개발 및 이를 이용한 원자층 증착공정 개발 평가

교육부(2013Y)

2021년 05월 - 2021년 10월

TiN 전극 기반 MIM 커패시터의 계면 처리에 따른 dielectric /ferroelectric 특성 향상에 관한 연구

과학기술정보통신부(2017Y)

2021년 03월 - 2022년 02월

이차원 재료를 활용한 NC FET 기반 슈퍼 스팁 특성 저전력 스위칭 소자 개발

산업통상자원부

2021년 - 2021년 12월

사이클릭 화학기상증착법을 이용한 이차원 반도체 소재의 저온 대면적 증착 공정 개발

지방자치단체

2020년 11월 - 2021년 02월