3차원 마이크로-나노 구조체 연구실

전기및전자공학부
윤준보

3차원 마이크로-나노 구조체 연구실은 전기및전자공학부 소속으로 나노 디바이스와 MEMS(미세전자기계시스템) 기술을 중심으로 연구를 진행하고 있습니다. 최근 3년간 연구실은 저에너지 응용을 위한 나노 디바이스 및 회로 기술, IT의 미래, 그리고 MEMS에 대한 이해를 높이는 다양한 프로젝트를 수행하였습니다. 주요 연구 성과로는 실리콘 반사 방지 구조를 이용한 광검출기 성능 향상, 금속/금속 산화물/금속(MMOM) 구조를 사용한 빠른 응답과 저전력 가스 센서 개발, CMOS 호환 전기-열 작동 나노 기계 비휘발성 스위치 등이 있습니다. 또한, 연구실은 다수의 특허를 보유하고 있으며, 다양한 국제 학술지와 학회에서 연구 결과를 발표하고 있습니다.

Gas Sensors

MEMS

Photodetectors

대표 연구 분야

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초고속 수소 감지를 위한 순수 팔라듐 나노와이어 연구

본 연구실은 수소 감지 기술에 대한 연구를 집중적으로 수행하고 있습니다. 순수 팔라듐 나노와이어를 이용해 초고속(약 0.6초)의 고감도 수소 감지기를 개발하였으며, 최대 10%의 수소 농도까지 선형적으로 감지할 수 있는 기술을 보유하고 있습니다. 이 기술은 반도체 및 전자 산업에서의 안전 모니터링 시스템에 응용 가능성이 높으며, 무선 및 고정밀 수소 감지 솔루션을 제공할 수 있습니다.

저전력 가스 센서를 위한 초박형 절연층 아키텍처

본 연구실은 저전력 가스 센서 개발에서도 주목할 만한 성과를 보였습니다. 초박형 세르펜틴 절연층 아키텍처를 이용해 초저전력 소모로도 빠르게 반응하는 가스 센서를 제작하였습니다. 이 기술은 다양한 산업 환경에서의 공기 질 모니터링 및 환경 감시에 적합하며, 높은 신뢰성과 낮은 에너지 소비를 통해 지속 가능한 기술 발전에 기여할 수 있습니다.

주요 논문

135

발행물 전체보기

Highly Selective Etching of Silicon Dioxide Over Aluminum Using Mixtures of Sulfuric Acid and Hydrofluoric Acid

Yoon, Jun-Bo, Kim, Tae-Soo, Lee, Yong-Bok, Lee, So-Young, Kim, Sung-Ho

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2024

Theoretical and experimental study on the polarization-independent flanged nanowire array infrared absorber

Yoon, Jun-Bo, Kim, Beom-Jun, Kim, Je-Min, Jo, Min-Seung, Kim, Sung Ho

SCIENTIFIC REPORTS, 2024

Long-term reliable wireless H2 gas sensor via repeatable thermal refreshing of palladium nanowire

Yoon, Jun-Bo, Jo, Min-Seung, Kim, Sung Ho, Kim, Ki-Hoon, Kim, Bokyeong, Kang, Joonhee, Seo, Min-Ho

NATURE COMMUNICATIONS, 2024