3차원 마이크로-나노 구조체 연구실은 전기및전자공학부 소속으로 나노 디바이스와 MEMS(미세전자기계시스템) 기술을 중심으로 연구를 진행하고 있습니다. 최근 3년간 연구실은 저에너지 응용을 위한 나노 디바이스 및 회로 기술, IT의 미래, 그리고 MEMS에 대한 이해를 높이는 다양한 프로젝트를 수행하였습니다. 주요 연구 성과로는 실리콘 반사 방지 구조를 이용한 광검출기 성능 향상, 금속/금속 산화물/금속(MMOM) 구조를 사용한 빠른 응답과 저전력 가스 센서 개발, CMOS 호환 전기-열 작동 나노 기계 비휘발성 스위치 등이 있습니다. 또한, 연구실은 다수의 특허를 보유하고 있으며, 다양한 국제 학술지와 학회에서 연구 결과를 발표하고 있습니다.