반도체 박막 및 센서소자연구실
경상국립대학교 반도체공학과
박기철 교수
Gas Sensors
Transparent Conductive Oxides
ZnO Thin Films
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반도체 박막 및 센서소자연구실
반도체공학과 박기철
반도체 박막 및 센서소자연구실은 반도체공학과에 소속된 연구실로, 주로 ZnO 박막, 투명 전도성 산화물, 가스 센서와 관련된 연구를 활발히 수행하고 있습니다. 최근 3년간의 연구 성과로는 고습에서 열처리된 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성, ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성, ZnO 나노로드 특성에 미치는 시드 막 열처리 영향 등이 있습니다. 또한, 태양광 패널 측정 로봇 및 측정 시스템, 퍼즐놀이를 위한 탈부착 시스템 등 다양한 특허를 보유하고 있습니다. 연구실은 ZnO 박막의 전기적, 광학적 특성 연구에 있어 높은 전문성을 가지고 있으며, 다수의 논문과 특허를 통해 그 연구력을 입증하고 있습니다.
Gas Sensors
Transparent Conductive Oxides
ZnO Thin Films
대표 연구 분야
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ZnO 기반 나노소재 및 박막 연구
최근 연구는 ZnO 및 도핑된 ZnO 나노소재와 박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성을 중심으로 진행되고 있습니다. ZnO는 태양광 전지, 투명 전도막, 가스 센서 등 다양한 응용 분야에서 중요한 역할을 합니다. 특히, 시드 막의 열처리, 도핑 농도, 기판 온도와 같은 변수들이 ZnO 나노로드와 박막의 특성에 미치는 영향을 분석하여, 고성능 전자소자와 센서의 개발을 목표로 합니다. 이를 통해 ZnO 기반 투명 전도막의 전기적 및 광학적 성능을 향상시키고, 응용 가능성을 넓히기 위한 다양한 연구가 이루어지고 있습니다.
가스 센서 기술 개발
가스 센서 기술은 공기질 모니터링, 산업 안전, 환경 보호 등 다양한 분야에서 중요한 역할을 합니다. 최근 연구에서는 Co3O4와 같은 금속 산화물을 활용한 후막 가스 센서의 개발에 중점을 두고 있습니다. 수열합성법을 통해 제조된 Co3O4 분말을 이용하여 가스 감지 특성을 향상시키는 연구가 진행되고 있으며, 다양한 금속 산화물을 조합하여 감도와 선택성을 높이는 방법을 탐구하고 있습니다. 이러한 연구는 고성능, 고신뢰성 가스 센서 개발에 기여하며, 실생활 응용 가능성을 높이는 데 중점을 두고 있습니다.
주요 논문
37
발행물 전체보기
1
고습에서 열처리된 ITO박막의 전기적 및 광학적 특성
박기철, 외 1인
전기전자공학회지, 2021
2
ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성
박기철, 외 1인
전기전자공학회지, 2020
3
ZnO 나노로드 특성에 미치는 시드 막 열처리 영향
박기철, 외 1인
전기학회논문지, 2018