경상국립대학교 반도체공학과 박기철 교수
반도체 박막 및 센서소자연구실은 반도체공학과에 소속된 연구실로, 주로 ZnO 박막, 투명 전도성 산화물, 가스 센서와 관련된 연구를 활발히 수행하고 있습니다. 최근 3년간의 연구 성과로는 고습에서 열처리된 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성, ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성, ZnO 나노로드 특성에 미치는 시드 막 열처리 영향 등이 있습니다. 또한, 태양광 패널 측정 로봇 및 측정 시스템, 퍼즐놀이를 위한 탈부착 시스템 등 다양한 특허를 보유하고 있습니다. 연구실은 ZnO 박막의 전기적, 광학적 특성 연구에 있어 높은 전문성을 가지고 있으며, 다수의 논문과 특허를 통해 그 연구력을 입증하고 있습니다.
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