본 연구는 500 ℃ 이상의 고온에서 안정도 및 균일도 0.01 ℃ 수준의 온도제어가 가능한 고온 등온표면 실현 및 압력제어식 온도제어 원천기술을 개발하고자 함. 이를 위해 본 연구는 상온에서 액상이며 고온 안정성이 우수한 NaK을 작동유체로 적용한 고온 PCLHP를 개발하고 자 함. 특히, NaK은 높은 반응성으로 인해 개방형 압력제어를 적용하기 어려우므...

본 연구는 500 ℃ 이상의 고온에서 안정도 및 균일도 0.01 ℃ 수준의 온도제어가 가능한 고온 등온표면 실현 및 압력제어식 온도제어 원천기술을 개발하고자 함. 이를 위해 본 연구는 상온에서 액상이며 고온 안정성이 우수한 NaK을 작동유체로 적용한 고온 PCLHP를 개발하고 자 함. 특히, NaK은 높은 반응성으로 인해 개방형 압력제어를 적용하기 어려우므...

본 과제는 온도를 정확하고 빠르게 맞추기 위한 압력제어식 온도제어 기술을 개발하는 연구임. 연구 목표는 온도안정도 0.01 ℃급의 기계 구동 기반 고속·정밀 압력제어식 온도제어기술 개발에 있음. 핵심 연구 내용은 H2O 적용 pressure-controlled loop heat pipe, PCLHP 개발, 2단·3단 벨로즈 mechanically driven gas pressure controller, MDGPC 개발 및 최적 제어 방식 도출, MDGPC 통합 PCLHP 기반에서 ±20 kPa급 압력변화 대변량 온도제어와 heat pipe liner, HPL 적용 등온영역 온도 균일도 평가임. 기대 효과는 균일 온도장 실현과 고속·정밀 제어 기반의 다양한 첨단산업·기초과학 적용 가능성임.

본 과제는 위성체 광학계와 고성능 전력반도체처럼 정밀한 운전온도 제어가 필요한 소자에 대해, 기계 구동 기반 압력제어 방식의 고속·정밀 온도제어기술을 개발하는 연구임. 연구 목표는 가변 체적형 기계 구동식 압력제어기(mechanically-driven pressure controller, MDPC)와 밀폐형 압력제어식 루프 히트 파이프(pressure-controlled loop heat pipe, PCLHP)를 통해 운전온도를 0.01 ℃(10 mK) 이내로 제어하는 기술 확립에 있음. 연구 내용은 bellows 구조 MDPC 개발, MDPC 통합 밀폐형 PCLHP 제작, 제어기체(He) 압력 변화에 따른 불안정성·천이 특성 시험 및 다단형 MDPC의 압력제어 알고리듬, 계단형 온도제어 시험 수행에 있음. 기대 효과는 등온영역 온도의 고속·정밀 제어 실현과 반도체 공정·신뢰성 시험, 초정밀 측정 등 기반기술로의 활용성 확대에 있음.