EUV Mask 결함 자동 계측 및 분석 기반의 AFM 자동 리페어 시스템 개발

산업통상자원부

2025년 - 2025년 12월

반도체 공정용 In-Line AFM 기반의 전기적 특성 계측 / 검사 시스템 개발

중소벤처기업부(2017Y)

2025년 - 2025년 12월

고장 판단 알고리즘 기반 다단펌프 상태 모니터링 시스템 개발

교육부(2013Y)

2024년 06월 - 2025년

스마트건설기계 전문인력양성사업

산업통상자원부

2024년 03월 - 2025년 02월

가변 민감도를 가지는 스마트 비파괴 센서 개발

과학기술정보통신부(2017Y)

2022년 03월 - 2023년 02월

3D 프린팅을 활용한 급수펌프용 임펠러 정밀제조공정 개발

교육부(2013Y)

2021년 05월 - 2021년 10월

전해 / 자성연마입자 융합가공을 이용한 선택적 초정밀 마무리공정 시스템

교육부(2013Y)

2020년 03월 - 2020년 05월

연구용 원자현미경 자동화 구현을 위한 캔틸레버 자동 교환 기술 개발

교육부(2013Y)

2015년 08월 - 2016년

다차원 메커니즘을 통한 안구 케어 시스템 개발

교육부(2013Y)

2014년 08월 - 2015년

음향방출 및 센서융합을 이용한 바이오 매니퓰레이션용 미세 촉각 센서 시스템 개발

교육부(2013Y)

2013년 05월 - 2014년 04월