NEMS/MEMS (Nano/Micro-Electro-Mechanical System) Lab.

전자공학부 조찬섭

NEMS/MEMS (Nano/Micro-Electro-Mechanical System) Lab은 전자공학부에 소속되어 있으며, 주로 스마트 센서 시스템, 표면증강 라만 분광법(SERS), 마이크로유체 장치, 태양전지 제조, 에너지 수확 MEMS 등의 연구를 수행하고 있습니다. 특히, 3차원 다공성 나노구조를 이용한 label-free SERS 기반 화학 및 생체의학 센서 구현과 같은 프로젝트를 한국연구재단과 협력하여 성공적으로 수행하였습니다. 또한, 산업통산자원부와 협력하여 나노 포러스 구조 바이오센서용 웨이퍼 재생기술 및 표면 요철화 기술 개발에도 기여하였습니다. 최근에는 폐 실리콘 웨이퍼를 활용한 태양전지용 실리콘 웨이퍼 및 texturing 공정 개발 프로젝트를 통해 고효율 태양전지 제조 기술을 선보였습니다. 이러한 연구 성과는 다양한 국제 학술지와 학회에서 발표되었으며, 실질적인 산업 응용 가능성을 높이고 있습니다.

Solar Cell Fabrication

SMART Sensor Systems

Energy Harvesting MEMS

대표 연구 분야

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표면증강 라만 산란(SERS) 기반 고감도 화학 및 생체의학 센서

SERS(표면증강 라만 산란) 기술을 활용한 고감도 화학 및 생체의학 센서는 나노포러스 구조를 이용하여 민감도를 극대화하는 데 중점을 둡니다. 본 연구는 나노구조의 금속박막을 통해 라만 산란 신호를 증대시키며, 이를 통해 다양한 화학 물질 및 바이오마커의 검출이 가능합니다. 특히, 3차원 다공성 나노구조와 표면 텍스처링 기술을 접목하여 SERS의 성능을 최적화합니다. 이러한 센서는 실시간 모니터링과 정밀 진단에 유용하며, 의료 및 환경 분야에서 다양하게 활용될 수 있습니다.

고효율 태양전지 제조 기술

고효율 태양전지 제조 기술은 미세 구조를 활용하여 태양전지의 변환 효율을 극대화하는 것을 목표로 합니다. 연구는 폐 실리콘 웨이퍼를 재활용하는 공정과 나노 텍스처링 기술을 융합하여 효율을 높이는 데 중점을 둡니다. 미세 구조의 형성과 항반사 코팅 기술을 통해 태양광의 흡수율을 증대시키며, 이를 통해 전지의 전체 성능을 향상시킵니다. 이러한 기술은 친환경적이며 경제적인 태양전지 생산을 가능하게 하여, 에너지 산업에 중요한 기여를 할 수 있습니다.

주요 논문

발행물 전체보기

Improvement of Surface-enhanced Raman Spectroscopy Response Characteristics of Nanoporous Ag Metal Thin Film with Surface Texture Structures

Journal of Sensor Science and Technology, 2020

3D Printed Water Strider Robot with Environmental Monitoring

Journal of Sensor Science and Technology, 2019

Highly Manufacturable Nanoporous Ag Films Using New Sputtering System for Surface Enhanced Raman Scattering Substrate

Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 2019

완료된 프로젝트

프로젝트 전체보기

2020년 반도체인프라구축지원사업/한국산업기술진흥원

한국산업기술진흥원

2020년 04월 ~

3차원 다공성 나노구조를 이용한 label-free SERS(Surface-enhanced Raman spectroscopy) 기반 화학 및 생체의학센서의 구현/한국연구재단

한국연구재단

2020년 06월 ~

고감도 측정을 위한 표면증강 라만 산란(SERS) 기판용 후각섬모형 3차원 다공성 나노구조 금속박막제조와 화학 및 생체의학 센서에의 응용/한국연구재단

한국연구재단

2017년 06월 ~ 2020년 05월